Математические модели тепломассообменных процессов при вакуумном катодном осаждении покрытий

Abstract

Предложены математические модели тепломассообменных процессов при нанесении покрытий на детали машин и режущий инструмент методом конденсации в вакууме на поверхности изделия вещества из плазменной фазы с ионной бомбардировкой — методом КИБ. Модели предназначены для использования при проектировании технологического процесса нанесения, а также для управления процессом в реальном времени.

Mathematical models of heat-mass exchange processes at coverings drawing on details of machines and cutting tool by a condensation method in vacuum on a surface of a product of substance from a plasma phase with ion bombardment – method CIB are offered. Models are intended for use at designing of technological process of drawing, and also for steering of process in real time.

Запропоновані математичні моделі тепломасообмінних процесів при нанесенні покриттів на деталі машин і різальний інструмент методом конденсації у вакуумі на поверхні виробу речо- вини із плазмової фази з іонним бомбардуванням – методом КІБ. Моделі призначені для викорис- тання при проектуванні технологічного процесу нанесення, а також для управління процесом у реальному часі.