Аннотация:
В статье рассмотрены особенности применения в медицине микроинструментов, датчиков, микромашин, изготовленных по технологиям микроэлектромеханических систем. Такая система содержит электронные и механические компоненты с характерным размером от 1 до 100 мкм. Микроэлектромеханические системы (MEMS, MST, микромашины) – устройства из миниатюрных механических компонентов, интегрированных с микроэлектроникой, которые можно получать методами стандартной микрообработки.
