Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://dspace.opu.ua/jspui/handle/123456789/1931| Название: | Ионизационный отжиг полупроводниковых кристаллов. Часть вторая: эксперимент |
| Другие названия: | Іонізаційний відпал напівпровідникових кристалів. Частина друга: експеримент Ionization annealing of semiconductor crystals. Part two: the experiment |
| Авторы: | Гаркавенко, А. С. Мокрицкий, Вадим Анатольевич Банзак, О. В. Завадский, В. А. Мокріцький, Вадим Анатолійович Банзак, О. В. Завадський, В. О. Гаркавенко, О. С. Mokrickiy, Vadim |
| Ключевые слова: | лазер отжиг электронный пучок лазер відпал електронний пучок laser annealing electron beam |
| Дата публикации: | Дек-2013 |
| Издательство: | Odessa National Polytechnic University |
| Библиографическое описание: | Ионизационный отжиг полупроводниковых кристаллов. Часть вторая : эксперимент / А. С. Гаркавенко, В. А. Мокрицкий, О. В. Банзак, В. А. Завадский // Технология и конструирование в электрон. аппаратуре. - 2014. - № 5-6. - С. 51-56. |
| Краткий осмотр (реферат): | При облучении полупроводниковых кристаллов мощными (сильноточными) импульсными электронными пучками высоких энергий обнаружен новый вид отжига, названный авторами ионизационным. В данной статье описаны экспериментальные исследования, подтверждающие сделанное ранее теоретическое обоснование. При опроміненні напівпровідникових кристалів потужними (сильнострумовими) імпульсними електронними пучками високих енергій виявлено новий вид відпалу, названий авторами іонізаційним. У цій статті наведено результати експериментальних досліджень, які підтверджують зроблене раніше теоретичне обгрунтування. There is a conception that irradiation of semiconductor crystals with high energy electrons (300 keV) results in a significant and irreversible deterioration of their electrical, optical and structural properties. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://tkea.com.ua/tkea/2014/5-6_2014/pdf/08.pdf http://dspace.opu.ua/jspui/handle/123456789/1931 |
| ISSN: | 2225-5818 |
| Располагается в коллекциях: | Статті каф. ІТПЕТ Технологія та конструювання в електронній апаратурі, № 5-6, 2014 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 08.pdf | 306.27 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.