Электрофизические и оптические свойства диэлектрических плёнок системы HfO2-Nd2O3

Сухарев, Юрий Георгиевич; Акулюшин, Игорь Леонидович; Жеревчук, Владимир; Савельев, Андрей Александорович; Андриянов, Александр Викторович; Миронов, Валерий Семёнович; Поляруш, Ольга Витальевна

dc.contributor.author	Сухарев, Юрий Георгиевич
dc.contributor.author	Акулюшин, Игорь Леонидович
dc.contributor.author	Жеревчук, Владимир
dc.contributor.author	Савельев, Андрей Александорович
dc.contributor.author	Андриянов, Александр Викторович
dc.contributor.author	Миронов, Валерий Семёнович
dc.contributor.author	Поляруш, Ольга Витальевна
dc.date.accessioned	2020-03-25T08:49:54Z
dc.date.available	2020-03-25T08:49:54Z
dc.date.issued	1997
dc.identifier.citation	Электрофизические и оптические свойства диэлектрических плёнок системы HfO2-Nd2O3 / Ю. Г. Сухарев, И. Л. Акулюшин, В. В. Жеревчук, А. А. Савельев, А. В. Андриянов, В. С. Миронов, О. В. Поляруш // Неорган. материалы. - 1997. - Т. 33, № 12. - С. 1478-1481.	ru
dc.identifier.issn	0002-337X
dc.identifier.uri	http://dspace.opu.ua/jspui/handle/123456789/10392
dc.description.abstract	Исследованы свойства диэлектрических пленок системы HfO2-Nd2O3, полученных электронно-лучевым испарением в вакууме. Изучено влияние состава на электрофизические свойства пленок. Из вольт-фарадных характеристик параметры пленки и границы раздела полупроводник-диэлектрик. Изучение влияния температуры и электрического поля показало высокую термическую стабильность пленок системы HfO2-Nd2O3. Установлено влияние различных технологических воздействий на оптические характеристики пленок. Показана перспективность применения данных пленок в качестве диэлектрика тонкопленочных электролюминесцентных структур и термостабильных конденсаторов.	en
dc.language.iso	ru	en
dc.subject	оптические свойства	en
dc.subject	электро-лучевое испарение	en
dc.subject	электрофизические свойства	en
dc.subject	диэлектрические плёнки	en
dc.title	Электрофизические и оптические свойства диэлектрических плёнок системы HfO2-Nd2O3	en
dc.title.alternative	Electrical and optical properties of HfO 2-Nd 2 O 3 dielectric films	en
dc.type	Article in Scopus	en
opu.kafedra	Кафедра природознавчих наук	uk
opu.citation.journal	Нерганические материалы	en
opu.citation.firstpage	1478	en
opu.citation.lastpage	1481	en
opu.citation.issue	12	en
opu.staff.id	aas@opu.ua	en
opu.staff.id	aav@opu.ua	en