Влияние кристаллографической ориентации кремния на формирование кремниевых нанокластеров в процессе анодного электрохимического травления

Тимохов, Д.Ф.; Тимохов, Ф. П.

eONPUIR
→
Інститут медичної інженерії
→
Кафедра біомедичної інженерії = Кафедра загальної та медичної фізики
→
Статті каф. БІ
→
Посмотреть элемент

dc.contributor.author	Тимохов, Д.Ф.
dc.contributor.author	Тимохов, Ф. П.	ru
dc.date.accessioned	2018-01-05T07:20:44Z
dc.date.available	2018-01-05T07:20:44Z
dc.date.issued	2009
dc.identifier.citation	Тимохов, Д. Ф. Влияние кристаллографической ориентации кремния на формирование кремниевых нанокластеров в процессе анодного электрохимического травления / Д. Ф. Тимохов, Ф. П. Тимохов // Физика и техника полупроводников. - 2009. - Т. 43, вып. 1. - С. 95-99.	ru
dc.identifier.uri	http://dspace.opu.ua/jspui/handle/123456789/6687
dc.description.abstract	Исследованы возможные пути повышения квантового выхода фотолюминесценции слоев пористого кремния. Изучено влияние параметров анодного электрохимического травления на фотолюминесцентные свойства слоев пористого кремния, полученных на подложках кремния с различной кристаллографической ориентацией. По спектрам фотолюминесценции пористого кремния рассчитаны средние диаметры нанокластеров кремния. Обнаружен эффект влияния кристаллографической ориентации исходной кремниевой подложки на квантовый выход фотолюминесценции пористого кремния. Предложен механизм влияния кристаллографической ориентации подложки на фотолюминесцентные свойства слоев пористого кремния, образующегося в процессе анодного электрохимического травления.	en
dc.language.iso	ru	en
dc.subject	Фотолюминесценция, пористый кремний, нанокластеры кремния, электрохимическое травление	en
dc.title	Влияние кристаллографической ориентации кремния на формирование кремниевых нанокластеров в процессе анодного электрохимического травления	en
dc.title.alternative	Influence of silicon crystallographic orientation on formation silicon nanoclusters during anodic electrochemical etching	en
dc.type	Article	en
opu.kafedra	Кафедра загальної та медичної фізики	uk
opu.citation.journal	Физика и техника полупроводников	en
opu.citation.volume	43 (1)	en
opu.citation.firstpage	95	en
opu.citation.lastpage	99	en
opu.staff.id	d.f.timokhov@opu.ua	en