Электрофизические свойства пленок систем ZrO2-Y2O3, HfO2-Nd2O3, HfO2-Y2O3

Сухарев, Юрий Георгиевич; Акулюшин, Игорь Леонидович; Миронов, Валерий Семенович; Андриянов, Александр Викторович; Жеревчук, Владимир В.

eONPUIR
→
Інститут гуманітарних наук
→
Кафедра інформаційної діяльністі та медіа-комунікацій = Кафедра документознавства та інформаційної діяльності
→
Статті каф. ІДМК
→
Посмотреть элемент

dc.contributor.author	Сухарев, Юрий Георгиевич
dc.contributor.author	Акулюшин, Игорь Леонидович
dc.contributor.author	Миронов, Валерий Семенович
dc.contributor.author	Андриянов, Александр Викторович
dc.contributor.author	Жеревчук, Владимир В.
dc.date.accessioned	2019-11-25T08:27:12Z
dc.date.available	2019-11-25T08:27:12Z
dc.date.issued	1994-04
dc.identifier.citation	Электрофизические свойства пленок систем ZrO2-Y2O3, HfO2-Nd2O3, HfO2-Y2O3 / Ю. Г. Сухарев, И. Л. Акулюшин, В. С. Миронов, А. В. Андриянов, В. В. Жеревчук // Неорган. материалы. - 1994, Том.30, № 4. - С.556-558.	ru
dc.identifier.uri	http://dspace.opu.ua/jspui/handle/123456789/9651
dc.description.abstract	Изучены электрофизические свойства пленок систем ZrO2-Y2O3, HfO2-Nd2O3, HfO2-Y2O3 в зависимости от условий их получения. Введение в пленки ZrO2 и HfO2 оксидов редкоземельных элементов позволило стабилизировать электрофизические параметры в широких интервалах температур подложки и скоростей роста слоев.	en
dc.language.iso	ru	en
dc.subject	тонкие пленки, диэлектрики, ZrO2-Y2O3, HfO2-Nd2O3, HfO2-Y2O3	en
dc.title	Электрофизические свойства пленок систем ZrO2-Y2O3, HfO2-Nd2O3, HfO2-Y2O3	en
dc.type	Article	en
opu.kafedra	Кафедра інформаційної діяльністі та медіа-комунікацій = Кафедра документознавства та інформаційної діяльності	uk
opu.citation.journal	Неорганические материалы	en
opu.citation.volume	30	en
opu.citation.firstpage	556	en
opu.citation.lastpage	558	en
opu.citation.issue	4	en
opu.staff.id	aav@opu.ua	en