Аннотация:
Изучены электрофизические свойства пленок систем ZrO2-Y2O3, HfO2-Nd2O3, HfO2-Y2O3 в зависимости от условий их получения. Введение в пленки ZrO2 и HfO2 оксидов редкоземельных элементов позволило стабилизировать электрофизические параметры в широких интервалах температур подложки и скоростей роста слоев.
